反応性イオンエッチングの知的設計
花房,真浩; Dino,Wilson Agerico; Muhida,Rifki; Yadao,David Melanie; 垣谷,公徳; 笠井,秀明
日本物理学会2005年秋季大会
同志社大学京田辺キャンパス
日本物理学会講演概要集 60(2-4),767,20050819(ISSN 13428349) (社団法人日本物理学会)