Conference

Basic information

Name Muramoto Tetsuya
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code 1000311528
researchmap agency Okayama University of Science

Title

低エネルギータングステン自己スパッタリングのMDシミュレーション

Author

村本哲也

Journal

プラズマ対向壁表面及び表面近傍でのエネルギー粒子挙動作業会

Publication Date

2006/01

Invited

Language

Japanese

Conference Class

Conference Type

Verbal presentations (general)

Promoter

Venue

土岐市

URL

Summary