CVA法で成膜したTa-C:H膜の各種N2/O2混合ガス比流通下におけるトライボロジー特性
ムハンマド アミヌル ヘルミ・國次真輔・中谷達行・清水一郎・平井広治・橋本輝夫
日本機械学会中国四国支部第56期総会・講演会
徳島市