交流高電圧プラズマCVD法を用いたステンレス細管内腔へのDLC成膜における周波数が化学結合に及ぼす影響
三宅孝昌,福江紘幸,清水一郎,中谷達行,國次真輔,本川正規,松岡秀雄
表面技術協会第147回講演大会
千葉工業大学