交流高電圧プラズマCVD法を用いた小径長尺シリコーンチューブ内腔へのDLC成膜における周波数が化学結合に及ぼす影響

田中主磨，福江紘幸，今井裕一，小佐野芳寿，國次真輔，清水一郎，中谷達行

日本鉄鋼協会中国四国支部第55回若手フォーラム