Reward
Title
Subtitle
Date
Association
Partner
Prize Type
Country
Summary
Basic information
Name
Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code
B000236977
researchmap agency
Okayama University of Science
Title
2019年度SP部会賞
Subtitle
Date
2020/09
Association
日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会
Partner
Prize Type
Country
Summary
HiPIMS用プラズマ電源の開発
