Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

CVA法を用いたta-C:H成膜におけるCH4ガス導入による付き回り性の向上

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
國次真輔，若江倫生，藤井雅貴，余田裕之， 中西亮太，中谷達行

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
表面技術協会第132回講演大会

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2015/09

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Verbal presentations (general)

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						
信州大学工学部

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary 

									
								

							

						

						
09B-25