Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

CVA法を用いたta-C:H薄膜の作成とそのキャラクタリゼーション

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
國次真輔，中谷達行

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
日本真空学会機能薄膜部会ナノ・キャラクタリゼーション専門部会第5回研究会

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2015/10

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Poster sessions

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						
東京

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary