Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title

DLC薄膜の医療デバイスへの応用とHiPIMSプラズマ源の新展開

Author

中谷達行

Journal

日本真空学会 機能薄膜部会 ナノ構造機能創成専門部会 第7回研究会 <薄膜ナノ構造制御と機能性の創成>

Publication Date

2017/06

Invited

Language

Japanese

Conference Class

Domestic conferences

Conference Type

Verbal presentations (invitation, special)

Promoter

Venue

東京工業大学

URL

Summary

資料No.7-01-2017, P.1-7