DLC薄膜の医療デバイスへの応用とHiPIMSプラズマ源の新展開
中谷達行
日本真空学会 機能薄膜部会 ナノ構造機能創成専門部会 第7回研究会 <薄膜ナノ構造制御と機能性の創成>
東京工業大学
資料No.7-01-2017, P.1-7