Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title

高速度カメラを用いた大電力マグネトロンスパッタリング放電のカーボンプラズマ挙動計測

Author

中谷達行,山本耕平,黒岩雅英,岡野忠之

Journal

日本実験力学会2017年度年次講演会

Publication Date

2017/08

Invited

Language

Japanese

Conference Class

Domestic conferences

Conference Type

Verbal presentations (general)

Promoter

Venue

岡山

URL

Summary