Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

HiPIMS法を用いたDLC成膜における反応性ガスによる放電特性

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
黒岩雅英，岡野忠之，中谷達行，福江紘幸

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第14回技術交流会・第156回定例研究会

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2017/12

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						
Domestic conferences

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Poster sessions

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						
東京

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary