Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

反応性HiPIMS法を用いたDLC成膜におけるCH4添加によるアーキング低減効果

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
福江紘幸，中谷達行，岡野忠之，黒岩雅英

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
電気学会平成30年基礎・材料・共通部門大会

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2018/09

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						
Domestic conferences

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Verbal presentations (general)

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						
イーグレひめじ（兵庫県）

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary