圧力勾配式スパッタによる透明CNx膜のガス分圧依存性

太田裕己，高橋希世美，米澤健，中谷達行，呉準席，古閑一憲，白谷正治，伊藤昌文

第35回 プラズマ・核融合学会年会

大阪大学吹田キャンパス内 コンベンションセンター