Conference
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高機能成膜を実現させるアーク抑制型HiPIMS 電源の開発
黒岩雅英，岡野忠之，中谷達行，福江紘幸
第21回「トライ簿コーティングの現状と将来」－コンフォーマル，高機能成膜・薄膜技術の最前線，マイクロ流体技術の医療応用―／理研シンポジウム
2019/02
Japanese
Domestic conferences
Verbal presentations (invitation, special)
理化学研究所和光研究所鈴木梅太郎記念ホール
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