Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

大電力パルススパッタリング（HiPIMS）法を用いたインプラント用DLC成膜における放電プラズマが薄膜物性に与える影響

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
福江紘幸，中谷達行，黒岩雅英，岡野忠之，國次真輔，太田裕己，米沢健

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
日本金属学会・日本鉄鋼協会中国四国支部第47回若手フォーラム

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2020/02

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						
Domestic conferences

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Poster sessions

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						
岡山ピュアリティまきび

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary