Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title

ミラー磁界型セカンドハーモニックECRによる低気圧マイクロプラズマの特性

Author

Journal

第53回春季応用物理学関係連合講演会

Publication Date

2006/03

Invited

Language

Conference Class

Conference Type

Verbal presentations (general)

Promoter

Venue

武蔵工業大学

URL

Summary