小径長尺チューブ内壁へのDLC成膜の均一性評価
今井裕一今井裕一國次真輔大澤晋藤井泰宏逢坂大樹中谷達行
表面技術協会講演大会講演要旨集
140th
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=202002241495453249