光-空気圧サーボシステムに関する研究(第1報, 直接および間接光信号フィードバックシステムの試作)
赤木 徹也, 堂田 周治郎, 松下 尚史
光サーボシステム,光-流体変換素子,環境障害,流体増幅器,空気圧シリンダ,位置決め制御,流体素子,レーザビーム
日本機械学会論文集(C編)
日本機械学会
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