プラズマ支援スパッタリング法により作製したDLC 被覆樹脂のナノインデンテーション法による動的粘弾性測定を用いた機械的特性評価

久保光星，國次真輔，ムハンマドアミヌルヘルミ，今井裕一，清水一郎，中谷達行

第36回プラズマプロセシング研究会／第31回プラズマ材料科学シンポジウム