講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル

Investigation of Interaction of Hydrogen plasma with amorphous carbon film

講演者

会議名

18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-18)

開催年月日

2007/08

招待の有無

記述言語

発表種類

会議区分

会議種別

主催者

開催地

Kyoto, Japan

URL

概要

p28