講演・口頭発表等
タイトル
講演者
会議名
開催年月日
招待の有無
記述言語
発表種類
会議区分
会議種別
主催者
開催地
URL
概要
基本情報
氏名
中谷 達行
氏名（カナ）
ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語）
Nakatani Tatsuyuki
所属
機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名
教授
researchmap研究者コード
B000236977
researchmap機関
岡山理科大学
タイトル
プラズマエッティングにおけるダイヤモンド様炭素膜の表面形状
講演者
松田尚輝、高橋和生、中谷達行、岡本圭司
会議名
第70回応用物理学会学術講演会
開催年月日
2009/09
招待の有無
記述言語
日本語
発表種類
会議区分
会議種別
口頭発表(一般)
主催者
開催地
富山大学
URL
概要
