講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル 

ICPプラズマ支援スパッタリング法によるDLC成膜におけるプラズマパラメータ

					

					

						

							

								

									
講演者 

									
								

							

						

						
國次真輔，中谷達行

					

					

						

							

								

									
会議名 

									
								

							

						

						
平成 29 年度(第 68 回)電気・情報関連学会中国支部連合大会

					

					

						

							

								

									
開催年月日 

									
								

							

						

						
2017/10

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
日本語

					

					

						

							

								

									
発表種類 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議区分 

									
								

							

						

						
国内会議

					

					

						

							

								

									
会議種別 

									
								

							

						

						
口頭発表(一般)

					

					

						

							

								

									
主催者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開催地 

									
								

							

						

						
岡山

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要