CVA法で成膜したta-C:H膜の各種N2/O2混合ガス比流通下におけるトライボロジー特性
ムハンマド アミヌル ヘルミ,國次真輔,中谷達行,平井広治,橋本輝夫
日本機械学会中国四国支部第56期総会・講演会
徳島大学