,ICPプラズマ支援スパッタリング法により作製したDLC被覆樹脂のナノインデンテーション法による動的粘弾性測定を用いた機械的特性評価
久保光星,國次真輔,ムハンマドアミヌルヘルミ,今井裕一,清水一郎,中谷達行
第36 回 プラズマプロセシング研究会/第31 回 プラズマ材料科学シンポジウム
高知城ホール(高知市)