講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル

バイポーラHiPIMS法を用いたDLC成膜時の電荷密度関数の導入とアーキング抑制効果

講演者

福江紘幸,小山裕雅,岡野忠之,黒岩雅英,國次真輔,中谷達行

会議名

表面技術協会第139回講演大会

開催年月日

2019/03

招待の有無

記述言語

日本語

発表種類

会議区分

国内会議

会議種別

ポスター発表

主催者

開催地

神奈川大学横浜キャンパス

URL

概要