バイポーラHiPIMS法を用いたDLC成膜時の電荷密度関数の導入とアーキング抑制効果
福江紘幸,小山裕雅,岡野忠之,黒岩雅英,國次真輔,中谷達行
表面技術協会第139回講演大会
神奈川大学横浜キャンパス