講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル

四重極マグネトロンプラズマを用いたメタルワイヤへのDLC薄膜コーティング

講演者

会議名

2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会

開催年月日

2006/08

招待の有無

記述言語

発表種類

会議区分

会議種別

口頭発表(一般)

主催者

開催地

立命館大学

URL

概要