論文

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名

CA法によるta-C:H成膜におけるCH4ガスのドロップレット低減効果と構造変化

単著・共著の別

著者

國次真輔, 白石航太郎, 中谷達行, 中西亮太

概要

発表雑誌等の名称

H26年度岡山県工業技術センター報告

出版者

41

開始ページ

15

終了ページ

17

発行又は発表の年月

2015/07

査読の有無

招待の有無

記述言語

日本語

掲載種別

研究論文(研究会,シンポジウム資料等)

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

ID:PMID

URL

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arXiv ID

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DBLP ID