論文

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名

小特集「様々なプラズマプロセスによるダイヤモンドライクカーボン薄膜の作製とその評価」第1章.はじめに

単著・共著の別

著者

中谷達行

概要

発表雑誌等の名称

プラズマ・核融合学会誌

出版者

92

6

開始ページ

450

終了ページ

453

発行又は発表の年月

2016/06

査読の有無

招待の有無

記述言語

日本語

掲載種別

研究論文(その他学術会議資料等)

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

ID:PMID

URL

JGlobalID

arXiv ID

ORCIDのPut Code

DBLP ID