論文

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名

Tribological characteristics of ta-C:H film deposited by reactive cathodic vacuum arc plasma deposition method

単著・共著の別

著者

概要



Muhammad Aminurul Helmy, Shinsuke Kunitsugu, Tatsuyuki Nakatani, Ichiro Shimizu1, Koji Hirai, Teruo Hashimoto

発表雑誌等の名称

Proceedings of the plasma conference 2017

出版者

開始ページ

24P-30-1

終了ページ

24P-30-2

発行又は発表の年月

2017/11

査読の有無

招待の有無

記述言語

英語

掲載種別

研究論文(国際会議プロシーディングス)

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

ID:PMID

URL

JGlobalID

arXiv ID

ORCIDのPut Code

DBLP ID