論文

基本情報

氏名 寺野　元規
氏名（カナ） ﾃﾗﾉ ﾓﾄｷ
氏名（英語） Terano Motoki
所属 工学部 機械ｼｽﾃﾑ工学科
職名 准教授
researchmap研究者コード 7000018142
researchmap機関 岡山理科大学

題名 

Effects Of External Hydrostatic Pressure On Finished Surface In Silicon Cutting

					

					

						

							

								

									
単著・共著の別 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
著者 

									
								

							

						

						
Masahiko Yoshino, Youhei Shimizu, Kentarou Kouno, Motoki Terano

					

					

						

							

								

									
概要 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
発表雑誌等の名称 

									
								

							

						

						
Advanced Materials Research

					

					

						

							

								

									
出版者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
巻 

									
								

							

						

						
966-967

					

					

						

							

								

									
号 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開始ページ 

									
								

							

						

						
129

					

					

						

							

								

									
終了ページ 

									
								

							

						

						
136

					

					

						

							

								

									
発行又は発表の年月 

									
								

							

						

						
2014/06

					

					

						

							

								

									
査読の有無 

									
								

							

						

						
有り

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						
無し

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
英語

					

					

						

							

								

									
掲載種別 

									
								

							

						

						
研究論文（学術雑誌）

					

					

						

							

								

									
ISSN 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:DOI 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:NAID(CiNiiのID) 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:PMID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
JGlobalID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
arXiv ID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ORCIDのPut Code 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
DBLP ID