Conference

Basic information

Name Muramoto Tetsuya
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code 1000311528
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

分子動力学法を用いたスパッタリングシミュレーション － 表面の影響

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
村本哲也

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
スパッタリング及びプラズマプロセス技術部会 第102回定例研究会

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2007/03

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Verbal presentations (invitation, special)

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						
東京都

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary