講演・口頭発表等

基本情報

氏名 村本　哲也
氏名（カナ） ﾑﾗﾓﾄ ﾃﾂﾔ
氏名（英語） Muramoto Tetsuya
所属 機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 講師
researchmap研究者コード 1000311528
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル 

分子動力学法を用いたスパッタリングシミュレーション － 表面の影響

					

					

						

							

								

									
講演者 

									
								

							

						

						
村本哲也

					

					

						

							

								

									
会議名 

									
								

							

						

						
スパッタリング及びプラズマプロセス技術部会 第102回定例研究会

					

					

						

							

								

									
開催年月日 

									
								

							

						

						
2007/03

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
日本語

					

					

						

							

								

									
発表種類 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議区分 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議種別 

									
								

							

						

						
口頭発表(招待・特別)

					

					

						

							

								

									
主催者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開催地 

									
								

							

						

						
東京都

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要