Conference

Basic information

Name Shimizu Ichiro
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code 1000187306
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

高周波HiPIMS法によるDLC膜物性の最適化

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
有田聖一，玄馬宗治，福江紘幸，米澤健，清水一郎，中谷達行，東京電子(株)，岡山県工業技術センター，ケニックス(株)

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
OUSフォーラム

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2023/11/27

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						
Not exist

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						
その他

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						
Domestic conferences

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Poster sessions

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary