講演・口頭発表等

基本情報

氏名 清水　一郎
氏名（カナ） ｼﾐｽﾞ ｲﾁﾛｳ
氏名（英語） Shimizu Ichiro
所属 工学部 機械ｼｽﾃﾑ工学科
職名 教授
researchmap研究者コード 1000187306
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル 

高周波HiPIMS法によるDLC膜物性の最適化

					

					

						

							

								

									
講演者 

									
								

							

						

						
有田聖一，玄馬宗治，福江紘幸，米澤健，清水一郎，中谷達行，東京電子(株)，岡山県工業技術センター，ケニックス(株)

					

					

						

							

								

									
会議名 

									
								

							

						

						
OUSフォーラム

					

					

						

							

								

									
開催年月日 

									
								

							

						

						
2023/11/27

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						
無し

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
日本語

					

					

						

							

								

									
発表種類 

									
								

							

						

						
その他

					

					

						

							

								

									
会議区分 

									
								

							

						

						
国内会議

					

					

						

							

								

									
会議種別 

									
								

							

						

						
ポスター発表

					

					

						

							

								

									
主催者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開催地 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要