Conference
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HF-HiPIMS法によるDLC成膜時のパルス幅が膜物性に及ぼす影響
玄馬宗治，有田聖一，福江紘幸，小佐野芳寿，清水一郎，岡野忠之，黒岩雅英，國次真輔，太田裕己，米澤 健，中谷達行
日本鉄鋼協会中国四国支部第55回若手フォーラム
2024/02/10
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Domestic conferences
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