HF-HiPIMS法によるDLC成膜時のパルス幅が膜物性に及ぼす影響
玄馬宗治,有田聖一,福江紘幸,小佐野芳寿,清水一郎,岡野忠之,黒岩雅英,國次真輔,太田裕己,米澤 健,中谷達行
日本鉄鋼協会中国四国支部第55回若手フォーラム