Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

反応性HiPIMSに於ける高速度カメラを用いたプラズマ挙動計測

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
黒岩雅英，岡野忠之，中谷達行，山本耕平

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
第58回 真空に関する連合講演会・第37回 表面科学学術講演会

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2017/08

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						
Domestic conferences

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Verbal presentations (general)

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						
横浜市立大学

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary