講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷 達行
氏名(カナ) ナカタニ タツユキ
氏名(英語) Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル

反応性HiPIMSに於ける高速度カメラを用いたプラズマ挙動計測

講演者

黒岩雅英,岡野忠之,中谷達行,山本耕平

会議名

第58回 真空に関する連合講演会・第37回 表面科学学術講演会

開催年月日

2017/08

招待の有無

記述言語

日本語

発表種類

会議区分

国内会議

会議種別

口頭発表(一般)

主催者

開催地

横浜市立大学

URL

概要