Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

ICPプラズマ支援パルススパッタリング法を用いたDLC成膜におけるプラズマ診断

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
68)	國次真輔，中西亮太，小山裕雅, 中谷達行

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
表面技術協会第139回講演大会

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2019/03

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						
Domestic conferences

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Verbal presentations (general)

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						
神奈川大学横浜キャンパス

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary