講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル 

ICPプラズマ支援パルススパッタリング法を用いたDLC成膜におけるプラズマ診断

					

					

						

							

								

									
講演者 

									
								

							

						

						
68)	國次真輔，中西亮太，小山裕雅, 中谷達行

					

					

						

							

								

									
会議名 

									
								

							

						

						
表面技術協会第139回講演大会

					

					

						

							

								

									
開催年月日 

									
								

							

						

						
2019/03

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
日本語

					

					

						

							

								

									
発表種類 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議区分 

									
								

							

						

						
国内会議

					

					

						

							

								

									
会議種別 

									
								

							

						

						
口頭発表(一般)

					

					

						

							

								

									
主催者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開催地 

									
								

							

						

						
神奈川大学横浜キャンパス

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要