Conference

Basic information

Name Nakatani Tatsuyuki
Belonging department
Occupation name
researchmap researcher code B000236977
researchmap agency Okayama University of Science

Title 

バイポーラ HiPIMS 法を用いたDLC成膜におけるアーキング特性に及ぼすパルス幅依存性

					

					

						

							

								

									
Author 

									
								

							

						

						
福江紘幸，岡野忠之，黒岩雅英，國次真輔，太田裕己，米澤健，中谷達行

					

					

						

							

								

									
Journal 

									
								

							

						

						
2019年日本表面真空学会学術講演会

					

					

						

							

								

									
Publication Date 

									
								

							

						

						
2019/10

					

					

						

							

								

									
Invited 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Language 

									
								

							

						

						
Japanese

					

					

						

							

								

									
  

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Conference Class 

									
								

							

						

						
Domestic conferences

					

					

						

							

								

									
Conference Type 

									
								

							

						

						
Verbal presentations (general)

					

					

						

							

								

									
Promoter 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Venue 

									
								

							

						

						
つくば国際会議場

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
Summary