講演・口頭発表等

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 機構 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

タイトル 

バイポーラ HiPIMS 法を用いたDLC成膜におけるアーキング特性に及ぼすパルス幅依存性

					

					

						

							

								

									
講演者 

									
								

							

						

						
福江紘幸，岡野忠之，黒岩雅英，國次真輔，太田裕己，米澤健，中谷達行

					

					

						

							

								

									
会議名 

									
								

							

						

						
2019年日本表面真空学会学術講演会

					

					

						

							

								

									
開催年月日 

									
								

							

						

						
2019/10

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
日本語

					

					

						

							

								

									
発表種類 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
会議区分 

									
								

							

						

						
国内会議

					

					

						

							

								

									
会議種別 

									
								

							

						

						
口頭発表(一般)

					

					

						

							

								

									
主催者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開催地 

									
								

							

						

						
つくば国際会議場

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要