アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の成膜過程の赤外分光解析
篠原 正典, 川副 大樹, 稲吉 孝紀, 河上 貴聡, 原 幸治郎, 松田 良信, 藤山 寛, 新田 祐樹, 中谷 達行
表面科学
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