論文

基本情報

氏名 中谷　達行
氏名（カナ） ﾅｶﾀﾆ ﾀﾂﾕｷ
氏名（英語） Nakatani Tatsuyuki
所属 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 教授
researchmap研究者コード B000236977
researchmap機関 岡山理科大学

題名 

アセチレンプラズマを用いたアモルファス炭素膜の成膜過程の赤外分光解析

					

					

						

							

								

									
単著・共著の別 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
著者 

									
								

							

						

						
篠原 正典, 川副 大樹, 稲吉 孝紀, 河上 貴聡, 原 幸治郎, 松田 良信, 藤山 寛, 新田 祐樹, 中谷 達行

					

					

						

							

								

									
概要 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
発表雑誌等の名称 

									
								

							

						

						
表面科学

					

					

						

							

								

									
出版者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
巻 

									
								

							

						

						
31

					

					

						

							

								

									
号 

									
								

							

						

						
8

					

					

						

							

								

									
開始ページ 

									
								

							

						

						
400

					

					

						

							

								

									
終了ページ 

									
								

							

						

						
404

					

					

						

							

								

									
発行又は発表の年月 

									
								

							

						

						
2010/00

					

					

						

							

								

									
査読の有無 

									
								

							

						

						
有り

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
日本語

					

					

						

							

								

									
掲載種別 

									
								

							

						

						
研究論文（学術雑誌）

					

					

						

							

								

									
ISSN 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:DOI 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:NAID(CiNiiのID) 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:PMID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
JGlobalID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
arXiv ID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ORCIDのPut Code 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
DBLP ID