光-空気圧サーボシステムに関する研究(第1報:直接および間接光信号フィードバックシステムの試作)
赤木徹也、堂田周治郎、松下尚史
光サーボシステム、光流体変換素子、流体増幅器
日本機械学会論文集C編
日本機械学会
62巻
600号
3188
3195