論文

基本情報

氏名 栗田　満史
氏名（カナ） ｸﾘﾀ ﾐﾂﾌﾐ
氏名（英語） Kurita Mitsufumi
所属 工学部 電気電子ｼｽﾃﾑ学科
職名 講師
researchmap研究者コード 1000113809
researchmap機関 岡山理科大学

題名 

PASを用いた高周波プラズマCVD　a-SiC：H薄膜の研究

					

					

						

							

								

									
単著・共著の別 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
著者 

									
								

							

						

						
栗田満史、竹中進、中川紀美雄、赤尾文雄

					

					

						

							

								

									
概要 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
発表雑誌等の名称 

									
								

							

						

						
岡山理科大学紀要　第24号A，pp.137-148

					

					

						

							

								

									
出版者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
巻 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
号 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
開始ページ 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
終了ページ 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
発行又は発表の年月 

									
								

							

						

						
1989/00

					

					

						

							

								

									
査読の有無 

									
								

							

						

						
無し

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
日本語

					

					

						

							

								

									
掲載種別 

									
								

							

						

						
研究論文（大学，研究機関等紀要）

					

					

						

							

								

									
ISSN 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:DOI 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:NAID(CiNiiのID) 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:PMID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
JGlobalID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
arXiv ID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ORCIDのPut Code 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
DBLP ID