光-空気圧サーボシステムに関する研究（第２報,  システムの理論解析と制御性能）

赤木 徹也,  堂田 周治郎,  松下 尚史

モデル化，光サーボシステム，光-流体変換素子，環境障害，流体増幅器，空気圧シリンダ，位置決め制御，位置決め精度，流体素子，レーザビーム

日本機械学会論文集（Ｃ編）

日本機械学会

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