論文

基本情報

氏名 平野　博之
氏名（カナ） ﾋﾗﾉ ﾋﾛﾕｷ
氏名（英語） Hirano Hiroyuki
所属 工学部 応用化学科
職名 教授
researchmap研究者コード 1000215136
researchmap機関 岡山理科大学

題名 

微粒子沈着現象の数値解析－ウエハー表面への沈着速度の計算－

					

					

						

							

								

									
単著・共著の別 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
著者 

									
								

							

						

						
平野博之, 尾添紘之

					

					

						

							

								

									
概要 

									
								

							

						

						
数値流体力学,微粒子沈着


					

					

						

							

								

									
発表雑誌等の名称 

									
								

							

						

						
化学工学論文集

					

					

						

							

								

									
出版者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
巻 

									
								

							

						

						
19

					

					

						

							

								

									
号 

									
								

							

						

						
4

					

					

						

							

								

									
開始ページ 

									
								

							

						

						
595

					

					

						

							

								

									
終了ページ 

									
								

							

						

						
604

					

					

						

							

								

									
発行又は発表の年月 

									
								

							

						

						
1993/07

					

					

						

							

								

									
査読の有無 

									
								

							

						

						
有り

					

					

						

							

								

									
招待の有無 

									
								

							

						

						
無し

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
日本語

					

					

						

							

								

									
掲載種別 

									
								

							

						

						
研究論文（学術雑誌）

					

					

						

							

								

									
ISSN 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:DOI 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:NAID(CiNiiのID) 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:PMID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
JGlobalID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
arXiv ID 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ORCIDのPut Code 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
DBLP ID