論文

基本情報

氏名 平野 博之
氏名(カナ) ヒラノ ヒロユキ
氏名(英語) Hirano Hiroyuki
所属 工学部 応用化学科
職名 教授
researchmap研究者コード 1000215136
researchmap機関 岡山理科大学

題名

微粒子沈着現象の数値解析-ウエハー表面への沈着速度の計算-

単著・共著の別

著者

平野博之, 尾添紘之

概要

数値流体力学,微粒子沈着

発表雑誌等の名称

化学工学論文集

出版者

19

4

開始ページ

595

終了ページ

604

発行又は発表の年月

1993/07

査読の有無

有り

招待の有無

無し

記述言語

日本語

掲載種別

研究論文(学術雑誌)

ISSN

ID:DOI

ID:NAID(CiNiiのID)

ID:PMID

URL

JGlobalID

arXiv ID

ORCIDのPut Code

DBLP ID