著書

基本情報

氏名 村本　哲也
氏名（カナ） ﾑﾗﾓﾄ ﾃﾂﾔ
氏名（英語） Muramoto Tetsuya
所属 研究社会連携機構 ﾌﾛﾝﾃｨｱ理工学研
職名 講師
researchmap研究者コード 1000311528
researchmap機関 岡山理科大学

書名 

Reactive Sputter Deposition

					

					

						

							

								

									
著書担当区分 

									
								

							

						

						
共著

					

					

						

							

								

									
著者 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
概要 

									
								

							

						

						
スパッタリング, シミュレーション

					

					

						

							

								

									
著書種別 

									
								

							

						

						
学術書

					

					

						

							

								

									
担当範囲 

									
								

							

						

						
Simulation of the Sputtering Process

					

					

						

							

								

									
担当ページ 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
発行所 

									
								

							

						

						
Springer

					

					

						

							

								

									
発行年月 

									
								

							

						

						
2008/01

					

					

						

							

								

									
ページ数 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
記述言語 

									
								

							

						

						
英語

					

					

						

							

								

									
ID:ASIN 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
ID:ISBN 

									
								

							

						

						

					

					

						

							

								

									
URL