論文

基本情報

氏名 村本 哲也
氏名(カナ) ムラモト テツヤ
氏名(英語) Muramoto Tetsuya
所属 研究社会連携機構 フロンティア理工学研
職名 講師
researchmap研究者コード 1000311528
researchmap機関 岡山理科大学

題名

MD study on temperature dependence of sputtering yield

単著・共著の別

著者

T. Muramoto

概要

Sputtering; Temperature dependence; Sputtered cluster; MD simulation

9th International Conference on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids

発表雑誌等の名称

Nuclear Instruments and Methods in Physics B

出版者

Elsevier

267

18

開始ページ

3232

終了ページ

3234

発行又は発表の年月

2009/02

査読の有無

有り

招待の有無

無し

記述言語

英語

掲載種別

研究論文(学術雑誌)

ISSN

ID:DOI

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URL

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